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電子工藝設備技術性能研究
發(fā)布者：信息資訊 發(fā)表時間:2018-11-06
首要，用戶需求明晰的是工藝技能方針要求絕對不等同于對工藝設備的技能功用方針要求，需求將工藝技能方針要求有用轉(zhuǎn)化為對工藝設備的技能功用方針要求；其次，用戶有必要明晰電子工藝設備的運用環(huán)境，在相同的工藝技能方針條件下，運用環(huán)境的不同，會導致對工藝設備的技能功用方針要求存在巨大不同。
用戶提出完好和精確的電子工藝設備技能功用方針內(nèi)容，是一項雜亂的作業(yè)，要求專業(yè)技能水平高、歸納常識才能強?，F(xiàn)在，許多電子工藝設備用戶在提出設備技能功用方針時，一般存在未將工藝技能及運用環(huán)境要求有用轉(zhuǎn)化為工藝設備的技能功用要求，造成對工藝設備的技能功用方針內(nèi)容要素不完好、要害技能要求不行科學合理、工藝設備的運用環(huán)境制約缺失等現(xiàn)象，造成購買的電子工藝設備不能徹底滿意工藝技能要求或性價比不高的狀況。因而，有必要對電子工藝設備技能功用方針的提出方法和完善內(nèi)容進行研討。

1 功用方針提出方法研討
提出電子工藝設備技能功用方針是具有不同階段的接連性作業(yè)，這種接連性作業(yè)組成一個完好進程，一般可以分為：預備、正式提出、專家評定及修正完善三個階段。
1.1 提出功用方針的預備階段
購買電子工藝設備是為了裝備在工藝線上，完結(jié)電子產(chǎn)品制造中的特定工序工藝方針。
首要，剖析工藝道路。將電子產(chǎn)品制造的工藝道路計劃用流程圖方法表明出來，細心剖析清楚挑選的工藝道路計劃，然后深入研討擬購電子工藝設備的本工序可挑選的各種工藝方法，并針對不同工藝方法對工藝道路計劃、本工序的上下工序影響進行細心剖析研討。
第二，將工藝技能方針要求轉(zhuǎn)化為電子工藝設備技能功用方針。經(jīng)過對擬購電子工藝設備的本工序各種可挑選工藝方法的細心剖析研討，在保證與工藝道路計劃及上下工序有機聯(lián)接根底上，對可挑選的工藝技能方法提出相應工藝技能方針要求，然后將工藝技能方針要求轉(zhuǎn)化為對應的電子工藝設備技能功用方針要求，如：磁控濺射設備，工藝技能要求的膜與基片之間的附著力需求轉(zhuǎn)化為磁控濺射設備的真空度方針以及對基片外表的清潔度要求。
第三，剖析運用環(huán)境要求。電子工藝設備運用環(huán)境不同，對設備的挑選自然存在巨大差異。關于純科研環(huán)境運用的設備，由于存在進行不同條件下科研實驗的要求，設備需求常常進行參數(shù)等調(diào)整，因而，廣泛的適應性和耐用性是榜首要務；關于科研試制兼小批量出產(chǎn)環(huán)境運用的設備，由于既需求進行不同環(huán)境下的科研實驗，一起也需求有小批量的出產(chǎn)才能，因而，杰出的可擴展性、耐用性、運轉(zhuǎn)的穩(wěn)定性和恰當?shù)呐霎a(chǎn)才能平衡是榜首要務；關于大批量出產(chǎn)環(huán)境運用的設備，由于存在作業(yè)期間不能停機的要求，無毛病接連運轉(zhuǎn)才能和杰出售后服務保證為榜首要務。用戶應該將這些不同環(huán)境運用特征要求轉(zhuǎn)化為對應的工藝設備技能功用方針及條件要求。如：磁控濺射設備，在滿意工藝技能要求前提下，針對科研環(huán)境運用的要害要求是基片尺度的杰出可擴展性和不同基材的廣泛適應性，至于無毛病接連運轉(zhuǎn)才能則放在較次要位置；針對大批量出產(chǎn)環(huán)境運用的要害要求是無毛病接連運轉(zhuǎn)才能，至于杰出可擴展性和廣泛適應性則根本不做特別要求。
第四，進行市場調(diào)研。建立調(diào)研作業(yè)組，對可供挑選的電子工藝設備進行廣泛的市場調(diào)研。調(diào)研調(diào)查制造廠商的商譽度、制造車間環(huán)境、規(guī)范履行系統(tǒng)、質(zhì)量操控系統(tǒng)、出產(chǎn)規(guī)模、制造的電子工藝設備先進性和質(zhì)量牢靠性、人機工程運用、制造商在同行業(yè)位置、制造的電子工藝設備在同類產(chǎn)品中的位置、規(guī)劃制造團隊狀況、售后服務團隊實力、已售電子工藝設備在用戶中的名譽、對外協(xié)作鏈條等內(nèi)容；到同類用戶單位調(diào)研同類電子工藝設備的人機作用、運用的簡練性、運轉(zhuǎn)穩(wěn)定性、對工藝技能要求的適應性及擴展性、無毛病作業(yè)時刻、運用功率、運轉(zhuǎn)本錢、安全性、售后服務保證才能等內(nèi)容；對新工藝技能，尋覓典型制造商及設備進行工藝實驗，經(jīng)過工藝實驗，將此工藝技能要求有用轉(zhuǎn)化為對電子工藝設備的技能功用及條件要求。
第五，對市場調(diào)研狀況進行具體整理分類。用表格方法將電子工藝設備制造商的歸納實力、搶先領域及技能、規(guī)劃開發(fā)及制造才能、質(zhì)量規(guī)范系統(tǒng)完好性、技能支撐及售后服務保證才能等內(nèi)容；各類型設備人機環(huán)境、先進性、運轉(zhuǎn)穩(wěn)定性和牢靠性、工藝技能的適應性和擴展性、耐用性、產(chǎn)能、運轉(zhuǎn)本錢及安全性等內(nèi)容別離列出，進行比較剖析并排名，然后撰寫具體的調(diào)研報告。
1.2 正式提出功用方針階段
依據(jù)運用環(huán)境，依照保證工序良品率，工藝簡練性、一致性、重復性、批產(chǎn)性、功率、經(jīng)濟性等特征的工藝技能要求，結(jié)合電子工藝設備人機作用、工藝適應性和擴展性、運轉(zhuǎn)牢靠性和穩(wěn)定性、出資本錢及生命周期內(nèi)歸納效益等統(tǒng)籌平衡，以具有最佳功率和經(jīng)濟效益為準則，選定最有利的工藝技能方法，以此斷定電子工藝設備類型。然后將工藝技能要求有用轉(zhuǎn)化為對電子工藝設備的具體技能功用方針和條件要求。工藝技能要求有用轉(zhuǎn)化為電子工藝設備技能功用要求時，要以技能牢靠及先進性、工藝技能適用性、短期效益與長時刻效益的歸納平衡為準則，既要避免僅考慮技能不考慮經(jīng)濟效益的高配低用現(xiàn)象，又要避免僅考慮電子工藝設備直接出資本錢不考慮技能牢靠先進性和運用壽命周期內(nèi)的歸納效益現(xiàn)象。
這兒要特別強調(diào)對電子工藝設備運用環(huán)境的注重，環(huán)境差異會造成對電子工藝設備要求的差異，如光刻工序，若光刻0.18 μm 線條，針對科研環(huán)境運用一般選用電子束曝光方法，而針對大批量出產(chǎn)環(huán)境運用必定是選用步進式曝光方法。這兩種曝光方法的工藝設備無論是技能功用仍是直接出資本錢方面都存在巨大差異。
1.3 專家評定及修正完善階段
電子工藝設備技能功用方針和條件要求是一個非常雜亂的歸納性技能文件，為了保證技能功用方針和條件要求的正確性和完好性，安排專家進行評定是一個不行短少的環(huán)節(jié)。
專家評定內(nèi)容：文件中的工藝技能方法挑選是否正確？電子工藝設備類別挑選是否符合運用環(huán)境要求？電子工藝設備技能功用和條件要求與工藝技能的最佳匹配性、技能功用方針的完好性、技能條款的科學合理性、技能要素描繪的精確性、技能支撐和售后服務要求的合理性等。
專家評定不僅是發(fā)現(xiàn)文件中工藝挑選正確性和運用環(huán)境匹配性、提出的工藝設備技能功用方針缺項、匹配性、科學合理規(guī)范等問題，而且也是對該文件質(zhì)量的有用查驗。若用Q 表明文件的質(zhì)量高低，則Q=（E -ΔE / E）×100%（E- 提交評定文件包括的技能要素，ΔE- 專家評定提出需求進行彌補完善修正的技能要素），當Q= 100%時，闡明文件編寫質(zhì)量完美，專家未提出需求彌補完善修正的要素；當Q＜100%時，闡明提交專家評定的文件需求彌補完善修正，Q 越小闡明需求彌補修正完善的要素越多，文件質(zhì)量越差。一般Q≥98%判定為優(yōu)秀，96%≤Q＜98%判定為杰出，94%≤Q＜96%判定為合格，Q＜94%判定為不合格。
專家評定完結(jié)后，構(gòu)成專家組意見，職責團隊按此進行細心細心整理修正完善，構(gòu)成正式的電子工藝設備技能功用方針及條件要求技能文件。
2 功用方針的內(nèi)容研討
2.1 技能功用方針的組成
電子工藝設備技能功用方針一般包括下列8方面：用處、首要組成及功用要求、具體技能功用方針、運用水電氣動力條件要求、設備場所條件要求、環(huán)境保護和節(jié)能減排要求、設備檢驗的具體項目和方針要求、設備調(diào)試及技能訓練和售后服務要求。
2.2 電子工藝設備的用處
用戶需明晰精確描繪電子工藝設備的用處。在相同工序，不同電子產(chǎn)品對電子工藝設備的具體要求存在差異，給電子工藝設備制造商明晰精確的設備用處信息，使他們能提供與用處徹底匹配的設備。如單面光刻機和雙面光刻機均是用來制造線條的，但它們的用處存在巨大差異；又如涂膠顯影機，針對具有壓電特性資料的鈮酸鋰等基片，需求在設備中裝備去電子云設備，一般硅資料就不需求。
2.3 設備首要組成及功用要求
電子工藝設備首要組成決議設備的完好性，首要功用決議設備的結(jié)構(gòu)挑選、工藝適用性、經(jīng)濟性、牢靠性等方面。功用需求具體描繪，由于功用不能全用量化技能方針表明，技能方針是對部分要害功用好壞的具體量化。因而，用戶對設備功用的描繪要完好、明晰、精確。斷定工藝設備首要組成，是保證設備滿意運用要求的根底，更是支撐選用高新、節(jié)能環(huán)保技能，保證工藝設備運用的可持續(xù)性、經(jīng)濟合理性、可擴展性、可保護性、有用運用壽命的必然要求。電子工藝設備組成一般包括：機械部分各單元、電器部分各單元、操控部分各單元等。
2.4 設備的具體技能功用方針
電子工藝設備具體技能功用方針是技能文件的中心，是保證設備與工藝技能要求徹底匹配、具有杰出經(jīng)濟運轉(zhuǎn)性、牢靠性、保護修理簡練便利性等的要害保證。工藝設備技能功用方針寫得越具體、完好、精確，設備各種定位就越明晰精確，與工藝技能及運用環(huán)境要求的匹配性就愈加完美。具體技能功用方針應包括：設備的結(jié)構(gòu)要求、操控方法、作業(yè)方法、有用作業(yè)尺度規(guī)模、精度、重復性、一致性、穩(wěn)定性、牢靠性、工藝適用規(guī)模、與工藝有關的溶液和溶質(zhì)、時刻節(jié)拍、無毛病作業(yè)時刻、質(zhì)量規(guī)范和計量系統(tǒng)、毛病報警方法、安全性要求等內(nèi)容。
2.5 運用水、電、氣等動力條件要求
水、電、氣等動力條件往往不受用戶所控，國家規(guī)范和市政條件將其限制在必定規(guī)模。因而，盡量依照國家規(guī)范和市政規(guī)范，明晰提出電子工藝設備運用水、電、氣等動力條件，避免進行重大改造添加更多出資本錢。
2.6 設備場所對設備的要求
關于用戶來說，電子工藝設備的設備場所是現(xiàn)已斷定好的，應明晰提出設備條件對設備的制約要求，避免對場所進行重大改造以滿意設備出場和設備，添加出資本錢。一般需求明晰工藝設備的長×寬×高尺度、分量、抗微震等要求。
2.7 滿意環(huán)境保護和節(jié)能減排的要求
依據(jù)國家環(huán)保、節(jié)能減排的法規(guī)和規(guī)范，對電子工藝設備提出相應的要求，保證設備歸于環(huán)保節(jié)能型，滿意國家強制規(guī)范要求。
2.8 檢驗的具體內(nèi)容及方針要求
電子工藝設備檢驗一般分為預檢驗和終檢驗兩階段。
預檢驗在設備制造工廠進行，一般工藝設備由制造商自行安排，雜亂設備由制造商和用戶一起進行。預檢驗的意圖是使電子工藝設備發(fā)貨前，各種狀況抵達最佳以滿意合同規(guī)則的技能功用要求，一起對預檢驗中發(fā)現(xiàn)的問題進行及時便利處理，為終究檢驗發(fā)明杰出條件。終究檢驗是在運用場所設備完結(jié)后，移送用戶前，依照規(guī)則內(nèi)容所進行的各種測驗、實驗及運轉(zhuǎn)，以保證移送用戶時工藝設備的完好性和杰出的運轉(zhuǎn)性。設備檢驗是特別重要的階段，因而，依據(jù)預檢驗和終究檢驗不同意圖，在技能功用方針文件中有必要具體列明兩階段檢驗的具體內(nèi)容和方針、檢驗方法、核算方法等，抵達檢驗方針的具體標志，未抵達方針的處理方法。最好用表格方法列明檢驗內(nèi)容，這樣顯得更簡練、明晰、精確。
預檢驗以設備本身的結(jié)構(gòu)和功用方針查核為主，首要內(nèi)容是工藝設備的結(jié)構(gòu)強度檢測、功用完善性、首要方針和精度、重復性、一致性、運轉(zhuǎn)狀況、工藝適應性、工藝精度等方面。技能文件中有必要規(guī)則制造商自行安排預檢驗時，需求制造可追溯的有用記載文件。
終檢驗是設備設備調(diào)試和人員訓練作業(yè)完結(jié)后，正式移送用戶時進行的檢驗作業(yè)，檢驗內(nèi)容需求全面、具體，預檢驗過的內(nèi)容也要重新檢驗一遍。終檢驗需求有電子工藝設備供方代表和用戶代表一起簽訂具有法律效力的具體記載和協(xié)議。
關于未抵達檢驗規(guī)范的項目處理方法、正式檢驗時刻核算日、設備保修核算起止時刻等內(nèi)容有必要明晰。設備機械結(jié)構(gòu)、電器、操控原理圖、操作手冊、修理手冊等均應作為檢驗內(nèi)容。
2.9 設備調(diào)試和技能訓練及售后服務要求
設備調(diào)試和技能訓練是電子工藝設備在運用現(xiàn)場的中心內(nèi)容，是保證設備正常、杰出運轉(zhuǎn)的要害作業(yè)。用戶有必要明晰精確提出設備調(diào)試和技能訓練的具體要求，一般包括：供方到用戶現(xiàn)場進行設備調(diào)試和技能訓練的工程師類別及等級、工程師人數(shù)、作業(yè)天數(shù)、完結(jié)的作業(yè)內(nèi)容、開端對用戶技能人員（操作人員、修理保護人員等各多少名）進行訓練的時刻等方面。訓練的具體內(nèi)容應含設備的構(gòu)成、原理、功用、運用工藝規(guī)模、特別注意事項、根本操作及高檔操作、工藝制造、日常運轉(zhuǎn)管理、日常保護、毛病診斷及掃除，對外圍條件的保證要求等。
售后服務是電子工藝設備的重要條件，要求設備百分之百不出毛病是不科學的，應該提出設備的無毛病作業(yè)時刻，要害是用戶提出工藝設備呈現(xiàn)毛病后，設備供應方需在短時刻內(nèi)消除毛病，不影響設備完結(jié)科研出產(chǎn)任務。用戶需求提出設備移送后，設備制造商對設備呈現(xiàn)毛病后的反應速度、抵達現(xiàn)場掃除毛病的時刻、觸及零部件替換的時刻要求、在規(guī)則時刻內(nèi)未完結(jié)毛病掃除的處分方法、針對雜亂電子工藝設備每年的日常巡檢次數(shù)和內(nèi)容及作業(yè)時刻等內(nèi)容。
3 結(jié)束語
總歸，提出電子工藝設備技能功用方針和條件是一個非常雜亂、具有高難度的作業(yè)，用戶應該安排規(guī)劃、運用、修理等技能人員組成團隊負責對工藝技能和電子工藝設備進行研討，盡量提出科學完善、與工藝技能和運用環(huán)境要求徹底匹配的技能功用方針系統(tǒng)。
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